双腔同步驱动无阀大流量压电泵有限元分析

摘要

由于现有的压电泵采用的压电振子结构限制了压电泵性能,为了提高压电振子的变形量和压电泵频响,从而提高流量的角度出发,提出采用Cymbal结构作为压电振子,设计并制作而成了一种双腔体结构同步驱动的无阀微型压电泵,用Ansys8.0有限元软件对压电振子进行了分析,得出了结构参数对压电振子性能的影响,为后续的此类压电泵优化设计奠定了基础。