以Y型疏水性型沸石针对单/双成份VOCs之吸附能力与影响机制

摘要

本文利用自制Y型疏水性沸石针对半导体常见之挥发性有机溶剂异丙醇(IPA)和单甲基醚丙二醇(PGME)进行单/双成份吸附实验,并藉由GC-FID之量测,其结果可作为评估单/双成份VOCs之竞争吸附机制。