我国超纯砷烷产业化生产技术研究

摘要

砷烷是电子气体中用途十分广泛，技术难度非常大的烷类气体，它是一个国家电子气先进与否的重要标志，超纯砷烷的产业化技术，涉及到砷烷的合成、净化、分析检测等诸多的专业，为发展我国IC产业，尽快实施超纯AsH3产业化技术研究意义重大。