以CSP基板生产冷轧退平板性能研究

摘要

全程跟踪分析BOF-CSP-酸轧-全氢罩式退火-平整工艺线生产的CQ级冷轧退平板性能，发现冷轧基板强度与冷轧退平板强度不存在显著相关性，影响退平板强度的主要因素是化学成分、冷板厚度规格及退火工艺与平整延伸率，探讨了冷轧退平板性能的主要影响因素，提出须重点解决的有关问题。