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片式半导体材料热处理炉控制系统

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本文介绍片式半导体材料热处理炉的控制系统,描述根据片式半导体材料热处理炉的具体情况所采用的控制程序,讨论PID控制、智能控制等控制方法.实际应用证明,该系统可以准确地控制温度,性能稳定,提高了产品合格率,降低了生产成本.

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来源
《全国冶金自动化信息网2006年会——炼钢连铸过程自动化技术交流会》|2006年|1016-1018|共3页
会议地点福建厦门
作者
何舒新; 郑京香;
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作者单位

全国冶金自动化信息网;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类热处理炉;
关键词
片式半导体材料; 热处理炉; 控制器; PID控制; 智能控制;

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