电弧镀TiN薄膜的性能研究

摘要

采用电弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面沉积氮化钛(TiN)薄膜,分别测试了薄膜的结构、表面形貌、显微硬度和摩擦磨损性能,研究了电弧离子镀沉积参数,如电弧电流、基体偏压对薄膜性能的影响.研究表明适当增加电弧电流和基体偏压的高压有助于提高TiN薄膜的力学性能,如薄膜硬度、耐磨损性能等;(111)晶面择优取向的TiN薄膜具有更高的硬度;较高的电弧电流沉积的薄膜中共沉积的颗粒均匀,且直径小于5um.