一种MEMS自动微装配机器人

摘要

介绍用于MEMS自动微装配的机器人系统的构成,讨论组成该系统的若干关键技术,包括宏/微精密定位技术、显微视觉系统、微夹持器的设计、系统的标定以及装配策略.集成各单元技术,以外径＜2 mm的微行星齿轮减速器为示范装配对象,研制能够完成微装配任务的微装配机器人.融合显微视觉和力信息,采用相应的装配策略,在2.5 min内,实现难度最大的3个行星齿轮的自动装配.