管壁内闭空间气源对器件真空性能的影响

摘要

本文介绍了在电真空器件生产过程中遇到的一种闭空间气源问题,建立了闭空间气源在管壁内的漏孔对器件的影响模型,举例说明了器件在排气封离后,如果有闭空间存在的解决方法和依据。