超光滑表面评价问题初探

摘要

随着现在光学技术的发展,粗糙度小于1nm的超光滑表面光学元件在紫外和X-射线光学、超高反射率光学元件的研制、半导体工业中有着越来越广泛的应用.如何对光学元件表面的质量进行评价是迫切需要研究的关键问题之一.在发展新的光学表面质量评价体系的过程中,引入了功率谱密度(PSD)函数的概念,利用PSD函数可以在一个很宽的空间频率范围内对光学元件的表面质量进行评价.文中给出了传统的表面评价指标均方根粗糙度σ和相关长度l之间的关系,说明了功率谱密度(PSD)函数的物理意义和用来评价光学表面质量的优点.