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MEMS器件自动优化算法

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本文研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标要求.最后采用CoventorWare软件对优化结果进行了验证.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1372-1375|共4页
会议地点南京
作者
赖文滨; 李伟华;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类设计;
关键词
MEMS器件; 自动优化算法; 结构参数; 悬臂梁;

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