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微机械高冲击传感器的一种失效模式研究

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在微机械高冲击传感器的测试过程中发现一种传感器芯片的严重失效问题.文中采用薄板弯曲的简化模型对该失效问题进行了初步研究.分析认为该失效是由于高冲击引起封装壳体变形使管芯承受放大了的应力,过大的应力导致芯片某些部位应力超过断裂强度而损坏.改进措施主要是通过完善壳体设计,合理增加厚度或减小壳体尺寸使壳体形变减小,从而减小由此给芯片带来的应力.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1610-1612|共3页
会议地点南京
作者
孙远程; 中国工程物理研究院电子工程研究所; 杨波; 彭勃; 赵龙; 张茜梅;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
高冲击; 微机械传感器; 失效模式; 失效问题;

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