基于复镜像理论与部分元的有耗互连线物理模型

摘要

针对高损耗衬底,基于复镜像理论,结合部分元等效电路法,建立了一种新的片上互连线物理模型。该模型考虑了趋肤效应和衬底损耗对互连线中串联电感L(f)和串联电阻R(f)频率特性的影响,并通过π等效电路结构计入了互连线寄生电容的分布特性。通过与全波分析方法对比,验证了在20GHz范围内由该模型导出的互连线等效电感L、等效电阻R误差均在8％以内。该模型可望与SPICE仿真软件结合,优化射频集成电路设计.