用于光束整形的衍射光学元件的设计和制作

摘要

本文结合光束整形相位器件的设计和制作实例,介绍最新提出的衍射光学元件(DOE:Diffractive Optical Elements)设计方法和可行的制作工艺方案。经过对实际制作的16台阶器件的测试,验证了该种基于迭代框架中的优化方法的正确性,同时,证明了采用多台阶相位结构的工艺方案能够有效提高工艺宽容度。通过对工艺误差的理论分析,对粒子束多次掩摸套刻工艺提出了有效的改进方案。