在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜的方法及光学性能分析

摘要

本文利用ZnO薄膜的光学吸收边随温度变化的光学特性制备紫外温度传感器，此传感器为光学探测器研究中的一个重要领域,而在光纤端面上制备高质量的ZnO薄膜是该类实用器件的基础和关键。实验利用电子束蒸发技术在蓝宝石光纤端面上生长具有良好的c轴择优取向的ZnO晶体薄膜,将该样品进行高温退火后测量了样品的透射率变化情况,结果显示退火过程仅对薄膜在可见光波段(400nm～450nm)透射率有一定的减小,而在紫外波段(300nm～380nm)的透射率影响极小,表明了该ZnO晶体薄膜具有较好的温度稳定性。