整体对称结构的压电步进型精密直线驱动器

摘要

本文列举了近年来国际上压电型精密驱动器的典型结构,分析它们的工作原理、特点.在此基础上,提出一种新颖的以压电叠堆为驱动元件的整体对称结构的精密直线驱动器.这种整体对称结构采用双侧对箝、精调斜块对及整体加工等独特的结构和工艺手段,保证了驱动器工作的稳定性和准确性.对步进型精密直线驱动器进行大量试验,证实驱动器具有实用的意义.