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激光刻蚀制模制作PDMS微流控芯片

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本文将固体激光引入到微流控芯片的制作领域,初步建立了一种快速制作PDMS芯片的新方法.系统考察并优化了芯片制作的各个条件,对芯片的物理、电学性质进行了测定.

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来源
《第七届全国毛细管电泳及相关微纳分离分析学术报告会》|2006年|115|共1页
会议地点上海
作者
黄锐; 冯波; 夏之宁;
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作者单位

上海交通大学;

中国科学院化学研究所;

中国科学院大连化学物理研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;
关键词
激光刻蚀; 微流控芯片; 芯片制作;

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