超高压成型与无压烧结制备细晶碳化硅陶瓷

摘要

碳化硅陶瓷具有优异的力学性能及化学稳定性。本文借助两面顶超高压设备,通过冷等静压及超高压成型制备了相对致密度大于60％的碳化硅陶瓷坯体。在低压流动氮气保护下,无压烧结获得了晶粒尺寸在200nm左右的高致密度碳化硅陶瓷。利用SEM、XRD分别对烧结体的断面形貌和相组分进行分析。实验表明,超高压处理能够提高坯体及烧结体的致密度,并有助于抑制晶粒的长大。