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取向PT薄膜的溶胶-凝胶法制备及其对PST薄膜的取向诱导

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采用溶胶-凝胶工艺,以TbCl3作为掺杂剂,在无规取向的ITO透明导电玻璃基板上成功地制备了高度择优取向的PbTiO3(PT)铁电薄膜.通过对不同前驱溶液浓度、热处理工艺、热处理时间和温度制备的PT薄膜样品的XRD图谱进行分析,得出了较为优化的制备工艺,并在此基础上溅射沉积出具有明显择优取向特征的PST薄膜.很明显,以取向PT作为诱导层,可以得到择优取向的PST薄膜材料.

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来源
《2007年全国溶胶-凝胶科学技术学术会议》|2007年|120-123|共4页
会议地点北京
作者

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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
钛酸铅; 取向生长; 诱导层; 溶胶凝胶工艺; 铁电薄膜;

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