浅析薄膜结构对传感器灵敏度的影响

摘要

本文在电阻式半导体薄膜气体传感器薄膜结构的基础上，提出了的具有三维敏感效应的薄膜结构模型,用简单的计算模型分析了薄膜气体传感器敏感材料不同结构时的灵敏度,并与具有传统的表面连续的薄膜传感器进行了比较,得出了有益的结论。