CIGS薄膜表面结构优化研究

摘要

通过三步法共蒸发制备CIGS吸收层，然后采用后掺工艺分别掺入5nm、20nm、50nm的NaF，从形貌中发现随着随着NaF量的不断增加，SEM表面图晶粒变紧凑，NaF对CIGS吸收层表面结构有修复作用；掺入适量NaF，载流子浓度提高，电阻率降低，当掺入过多的量，电学性质反而变差。通过研究可以精确控制掺入15-25nm的NaF，这为产业化生产CIGS太阳能电池提供了研究基础。