激光全场轮廓测量解调方法研究

摘要

阴影莫尔法轮廓测量以其测量精度高、易于实现等优点而被广泛采用。目前已有很多研究报道。本文通过对阴影莫尔法轮廓测量原理进行研究，利用变量分析法全面总结出了阴影莫尔法轮廓测量所能采用的相位解调方法，使阴影莫尔法轮廓测量理论系统化，并总结出了光源旋转频移阴影莫尔轮廓测量法。该方法不但具有光栅旋转频移法的测量精度高等优点，而且避免了机械频移，使测量速度大大提高。