四象限探测器光斑尺寸的测量方法

摘要

由于四象限探测器具有低噪声，高灵敏度和高带宽的优势，因此被广泛应用于激光光斑跟踪、准直和位置检测等领域。靶面上的光斑尺寸是影响系统性能的重要参数之一。文中对探测器的光斑位置探测灵敏度指标Sx进行了分析，比较了象限问沟道大小对Sx的影响关系，提出了一种测量光斑半径的方法，该方法利用电控偏转镜扫描探测器靶面获得位置探测器灵敏度，基于位置探测灵敏度与光斑半径的对应关系，间接测得光斑尺寸。