激光区熔在太阳电池制造过程中应用

摘要

激光技术可以在太阳电池制造过程中发挥独特的作用。本文首先分析了激光与硅片表面相互作用的特点与规律,将激光在太阳电池制造工艺中的用途归为激光退火、激光区融再结晶以及激光刻蚀三类作用；然后详细介绍激光区融再结晶在太阳电池中的应用实例,如有选择性发射结掺杂、激光烧蚀电极等工艺,其中包括在中山大学激光烧蚀电极的研究。随着人们对激光工艺进一步改进,激光技术将在太阳电池产业化制造领域会得到实际的应用。