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基于LabVIEW的压电陶瓷相移器控制系统

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压电陶瓷(PZT)作为微位移的执行装置,在光学测量方面得到广泛的应用.为了准确方便地实现对压电陶瓷相移器的控制,本文运用虚拟仪器软件设计压电陶瓷相移器驱动、校正与位移精度控制系统.运用LabVIEW编写的程序采集数据并进行分析和计算PZT的位移量,并提出一种新的方法测出PZT驱动电压与位移曲线;系统也可以通过LabVIEW控制数据采集卡输出电压驱动PZT移动的位移达到纳米(nm)量级,提高了PZT的移动精度.

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来源
《广东省仪器仪表学会第一次学术会议》|2008年|118-123|共6页
会议地点广州
作者
LIU Gan-yong; 刘赣勇; LU Xiao-xu; 吕晓旭; ZHANG Qing-sheng; 张庆生; YU Qing-ting; 余清婷;
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作者单位

广东省仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH74:TH703.9;
关键词
光学测量; 压电陶瓷; 相移器; 控制系统; 移动精度; 程序开发环境;

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