基于圆度评定方法的气浮轴系回转误差分析

摘要

大型气浮轴系相对于机械轴承具有较高的回转运动精度,主要应用于超精密测量和机械加工设备的回转主轴,以提供高精度的回转运动。大型气浮轴系回转运动精度高,所以对回转误差的测量手段和方法较少,针对这一问题采用基于圆度评定的方法对其分析,可以达到几十纳米的测量精度,满足保证气浮轴系的精度要求。并且对偏心e和偏移d等参数对回转精度引起的误差进行了分析,通过数据分析发现两种参数对气浮轴系回转精度的影响较大,偏移d对偏心e具有放大作用,所以得出采用基于圆度评定方法的回转误差测量过程中还应该对这两项参数引入的误差进行分离,保证对回转误差的更高精度的测量。