薄膜沉积的影响因素和修正方法的研究

摘要

通过对镀膜过程的监测、数据采集与整理,建立数学模型并在matlab软件下的算法仿真与分析,对影响镀膜过程、镀膜质量的几个关键因素产生的原因进行了查找与分析,设计相应的解决方案,并且提出了一个膜系的偏差评价函数,这个函数可以综合评价镀膜的实际结果和目标结果的偏差,从而修正后续镀制的膜层.