双波段激光防护多层反射膜的设计

摘要

利用TFCalc膜系设计软件,从理论上对激光防护多层反射膜的光学性能进行了分析.计算了各个膜系的理论投射率曲线.分析了各个因素(如膜系结构、膜层奇偶性、起膜材料)对膜层光学性质的影响.并设计了以ZrO2和SiO2为膜层材料,聚碳酸酯(PC)为基体材料,可以同时防护532nm和1064nm波长激光的1:2型多层反射薄膜.在532nm和1064nm处的理论透过率都达到了0.01％(光学密度D=4).并在PC镜片表面镀上23层1:5型激光反射膜,对理论设计进行验证.对其在400nm～1200nm波长范围内的光学性能进行了测试,测试结果与理论计算值基本吻合.