地平仪用薄膜型红外热敏探测器的制备研究

摘要

红外地平仪是卫星姿态控制系统的重要设备之一,而热敏电阻红外探头是红外地平仪的一个关键部件,它的质量直接影响着地平仪的性能和可靠性.随着近代空间技术的发展和下一代红外地平仪的需求,对研制高可靠、长线列的红外热敏探测器的要求日益迫切.近年来,人们发展的化学溶液法在制备锰钴镍氧(Mn-Co-Ni-O或MCN)薄膜材料方面取得了突破,其致密性远远超过陶瓷体材料,为长寿命、高可靠性的热敏器件提供了一个很好的解决方案.而MCN薄膜型探测器的类微电子制备技术也为实现研制长线列的多元热敏探测器奠定了基础.本文中用微电子工艺制作了地平仪用的锰钴镍薄膜型红外热敏探测器,并对其中的一些关键工艺诸如:刻蚀和退火等做了有益的研究.这些新工艺新方法对于薄膜热敏红外探测器在中国空间观测和遥感技术领域中的工程应用,提高红外地平仪可靠性和使用寿命都有着重要的意义.