全息激光头在纳米测量中的应用

摘要

提出了一种基于全息激光头的新型纳米测量方法,该方法具有结构简单、集成度高、分辨力高、非接触等特点。文中首先分析了全息激光头的工作原理；然后以全息激光头为核心搭建出一套试验系统,在此试验系统基础上进行试验并给出实验结果。