SEAM上下表面检测成像系统的实现及实验结果初探

摘要

本文基于本实验室已建立的扫描电子声显微镜系统，通过增加耦合在材料表面的PZT检测电子声效应在试样表面激发的应变场，验证了SEAM上表面接收电子声信号的可行性，并得到了一定的实验结果。