微型气体传感器之设计与制作

摘要

本研究之微型气体传感器采用微机电制程技术，采用面形微细加工方式制作出一微型气体传感器，此微型传感器整体体积较一般所使用之传感器小，结构简单，因为微小尺寸，让它能有很好的灵敏度与精密量测性。此微型气体传感器相较现行常见气体感测系统，如红外线为基础之光学气体传感器、或是气相层析/质谱仪、拉曼光谱仪等特定仪器，具有低成本、构造简单、可靠度…等优点，此外不需经过气体采样程序进行现场实时量测效果。