基于统计分析的洁净度量值溯源方法研究

摘要

光散射尘埃粒子计数器的洁净度量值溯源问题一直倍受重视,目前的洁净度校准方法均未能获得广泛认可.本文提出了一种基于统计分析的粒子计数器的小粒径粒子浓度计数溯源方法,利用阳极氧化铝模板(AAO模板)和扫描电镜的试验结果表明,该洁净度量值溯源方法理论可行,对于解决国际上光散射尘埃粒子计数器的洁净度参数量值溯源问题具有一定参考价值.