高精度光学角规制造、计量、传递、溯源及应用

摘要

光学角规偏向角的高精度标定是一项基础性的研究工作,由于原有的测试仪器和手段的限制,制约了光学角规规程的颁布和推广.本文介绍的基于等厚干涉测量光学角规偏向角的理论,采用双正交光路的双频激光干涉纳米测长技术,一路透过光学角规测出角规移动时的光程变化量,另一路测出光学角规移动量的方法,根据严格的偏向角计算模型,实现标准光学角规偏向角的测量.此方法的精度高,测量范围在2″～1′,测量不确定度可达到0.03″(k=2).通过抽样与NIST美国国家标准与技术研究院比对测量,验证了本文研制的仪器在测量光学角规的量值与NIST相符,测量不确定度优于NIST.光学角规已在计量部门推广应用,实现了高精度小角度的计量传递与溯源。