ZnO薄膜温变特性在透射型光纤温度传感器中应用的研究

摘要

利用电子束蒸发的方法在蓝宝石(0001)光纤端面上生长ZnO薄膜，原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)的结果表明：薄膜表面平整，颗粒均匀，结晶良好，具有明显的c择优取向。不同测试温度下透射光谱表明：ZnO薄膜的光学吸收边随温度的升高有明显的红移现象，其禁带宽度与熟力学温度之间满足一定的线性关系。根据ZnO薄膜的光学吸收边所呈现的这一负温度效应，研究其在光纤温度传感器中的应用，进而搭建一种成本低，结构简单，稳定性好，测温范围宽的透射式温度传感器。