聚合物微环谐振器电光开关阵列的开关特性

摘要

利用耦合模理论、电光调制理论和微环谐振理论，提出了一个完善合理的聚合物微环谐振器电光开关阵列模型。该器件由1条水平信道、N条竖直信道和N个微环构成，在微环上施加不同方式的驱动电压，可以实现N+1条信道的开关功能。以1×8信道结构为例，在1550 nm谐振波长下对该器件进行了优化设计和分析模拟。结果为：微环波导芯的截面尺寸为1.7×1.7 μm2，波导芯与电极间的缓冲层厚度为2.5μm，电极厚度为0.2μm，微环半径为13.76 μm，微环与信道间的耦合间距为0.14 tam，输出光谱的3-dB带宽约为0.05 nm，开关电压约为12.6 V，插入损耗约为0.67～1.26 dB，串扰小与-20 dB，开关时间约为11.35 ps。