XPS定量分析准确性的探讨

摘要

本文用Thermo Fishier ESCALAB 250型X射线光电子能谱仪对化合物粉末试剂的定量结果进行了比较分析，讨论了碳污染对定量分析的影响，并比较了仪器自带软件Avantage中用Scofield和Wagner灵敏度因子计算、同一元素不同能级光电子峰定量及不同阳极靶的测量结果差异。