微机电磁场传感器发展综述

摘要

本文就最近几年发展起来各种结构、各种原理、各种测试方法的MEMS传感器进行了简单的介绍，包括光学检测的扭转式MOEMS磁场传感器、铁磁微机械磁场传感器、Ni薄板做为传感单元的磁场传感器以及谐振微机械磁场传感器等14种。