基于微刀具的菲涅耳器件超精密制造方法

摘要

菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件。单点金刚石切削技术可以实现高效和高精度的菲涅耳器件加工。文中借助聚焦离子束微加工方法进行微刀具制备，采用半圆头微刀具进行菲涅耳器件加工，详细介绍了加工方法和制造工艺。对不同应用领域的两类菲涅耳器件进行加工实验和测试，实验结果表明提出的方法可以满足菲涅耳器件的制造需求。