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微成形技术及微细加工

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摘要

阐述了微成形的基本概念、应用及研究进展;从材料性能、摩擦、润滑、模具以及成形设备等方面分析了微成形技术的特点;概述了微成形中的尺度效应现象;介绍了LIGA技术、准LIGA技术、硅刻蚀技术，特种微细加工等典型的微细加工技术特点.

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来源
《第十一届全国塑性工程学术年会》|2009年|558-560|共3页
会议地点长沙
作者
王慧钰; 王匀;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类压力加工工艺;
关键词
微成形技术; 尺度效应; 微细加工;

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