简谈多晶硅副产物四氯化硅的利用途径

摘要

随着国内多晶硅产业的蓬勃发展，多晶硅主要副产物四氧化硅的环境污染问题日益突出。有效利用四氯化硅、减少环境污染是当前必须要解决的首要问题。探讨了目前多晶硅生产中副产物四氯化硅的利用途径。