双面硅条两维位置灵敏探测器的研制

摘要

介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器-双面硅条两位位置灵敏探测器的结构，工作原理，制备工艺及测试结果。该探测器的灵敏面积为50×50 mm2，前面和背面都被分为相等宽度的16条(每条的面积为50×3mm2)，在微电子工艺线上采用平面工艺和离子注入技术制备。在-25伏偏压下，各条的反向漏电流都<10nA，对前面16条的能量分辨进行了初步测量，得到2.2%的能量分辨率(对5.486MeVα-粒子)。