白光扫描干涉的包络峰值探测算法研究

摘要

本文对白光扫描干涉的包络峰值探测算法进行了研究。白光扫描干涉术是通过白光干涉条纹提取待测物体的相位信息，具有条纹级次的不确定性。Harasaki及Wyant等人利用包络峰值探测技术并结合被测物体的相位信息来确定条纹级次，提高了被测件的测量深度和精度。