HEDP镀铜的研究和生产应用

摘要

本文回顾和讨论了HEDP(羟基乙叉二膦酸)镀铜在国内的研究和生产应用概况。研讨了HEDP镀铜工艺的络合和电折机理。讨论了镀液组成和镀液与镀层的性能以及工艺操作条件与维护方法并与氰化镀铜工艺作了比较。结果表明HEDP镀铜工艺特别是加入CuR-1添加剂的新工艺作为替代氰化镀铜工艺应是很有发展前途的无氰碱性镀铜新工艺。