干涉衍射对哈特曼－夏克传感器性能影响研究

摘要

CCD面上的光强分布影响着哈特曼-夏克传感器的性能指标。由于微透镜孔径较小，干涉和衍射会对其光强分布产生不可忽略的影响。用傅里叶光学的方法建立了微透镜阵列的数学模型，分析了由于微透镜阵列的干涉和衍射造成焦平面上光强分布特征，以及由于该光强分布造成的光斑质心误差。模拟了一个8×8的微透镜阵列，给出了质心误差与入射光偏角的关系。给出了减小误差的方法。分析了衍射对哈特曼-夏克传感器的测量动态范围的影响，并给出了动态范围的计算公式。