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陈其国;
中国可再生能源学会;
江苏省光伏产业协会;
三氯氢硅; 软件模拟; 多晶硅生产; 沉积工艺;
机译:多晶硅还原炉中化学气相沉积反应的数值模拟
机译:草酸-葡萄糖酸-铁酸盐体系氧化还原介导的电化学还原方法:工艺优化研究
机译:草酸葡萄糖酸铁体系氧化还原介导的电化学还原法:工艺优化研究
机译:通过热线化学气相沉积以大于1 nm / s的沉积速率沉积多晶硅电池
机译:海洋和河口沉积物中的还原性脱卤作用以及还原硫酸盐的细菌的还原作用。
机译:不同沉积温度下多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度线性和电阻时间漂移
机译:通过三甲基铝通过化学气相沉积通过化学气相沉积在Al 2℃的无定形或多晶硅相形成对非晶或多晶硅相形成的影响
机译:沉积低应变LpCVD(低压,化学气相沉积)多晶硅
机译:多晶硅:硅CMP处理高密度DRAM存储器单元结构-包括沉积第一和第二绝缘层,第一和第二多晶硅:第三绝缘层,去除多余的第二多晶硅:和第三绝缘层,形成电介质并沉积第三多晶硅:硅
机译:在高K栅极介电材料上沉积多晶硅栅电极的非还原工艺
机译:包括均匀间隔的细丝棒和进气孔的用于沉积多晶硅的设备以及使用该设备沉积多晶硅的方法
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