Ag掺杂含氢DLC超润滑性能研究

摘要

采用中频非平衡磁控溅射技术成功制备制了Ag掺杂的含氢类金刚石薄膜,考察了Ag掺杂类金刚石碳薄膜在高真空下的摩擦磨损性能性能,重点研究了Ag掺杂对超润滑行为的影响.结果表明,Ag的掺入大大增加了类金刚石的超润滑寿命.该研究提供了一种延长类金刚石薄膜超润滑性能的有效方法.