用原子力显微镜研究Cu薄膜的表面结构与性能

摘要

原子力显微镜因分析材料的表面结构与性能方面具有独特的优势，在许多领域受到大家的青睐。本文采用原子力显微镜的轻敲模式，对退火前后的Cu/glass进行了测试，分析了其表面形貌与相位差图包含的一些信息，探讨了薄膜的表面结构与表面性能及成份等之间的关系，并采用了XPS，XRF等其他分析手段进行了验证。