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氢等离子体处理对ZnO光电性质的影响

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摘要

纤锌矿ZnO由于其独特的性质而在光电器件领域具有极大的应用潜力,与未掺杂ZnO相比,氢处理后ZnO呈现出优良的光电性能.本文借助于霍尔、拉曼散射、光致发光及电致发光测试技术,系统研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过程对ZnO薄膜及纳米材料光学及电学性质的影响.

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来源
《北京市高教学会技术物资研究会第十五届（2014）学术年会》|2015年|272-275|共4页
会议地点北京
作者
DONG Jing-Jing; 董敬敬; YANG Kun; 杨坤; FU Kang-Ning; 付康宁;
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作者单位

北京市高教学会技术物资研究会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
氧化锌薄膜; 光电性质; 氢等离子体;

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