基于UMAC的直线电机精密控制技术研究

摘要

直线电机驱动控制技术在加工设备中得到了越来越广泛的应用。本文简单介绍了直线电机的原理，阐述了利用UMAC对高精度直线电机进行全闭环控制，采用PID+速度/加速度前馈的控制算法，调试出了良好的系统动态性能。在气浮导轨平台上的运动性能试验表明，直线电机进给系统的控制和定位精度高，而且低速稳定性好，适合于超精密机床的进给控制要求。