固定流导法气体微流量计测量下限延伸方法研究

摘要

影响固定流导法气体微流量计测量下限的主要因素是真空管道及稳压室内表面放气，本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气效应影响来延伸测量下限的方法。NEGP对惰性气体无抽速，对活性气体抽速大，当以惰性气体作为实验气体时，NEGP可维持流量计真空管道及稳压室中的高真空本底，进而消除器壁放气效应的影响。这种方法将固定流导法气体微流量计的测量下限延伸到了10-12Pa·m3/s量级。